簡要描述:光電輪廓儀的應用范圍很廣,它主要用于測量各種精密加工零件表面的微觀三維結構,如表面粗糙度;零件表面的刻線;刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說,如量塊、光學零件表面的粗糙度;標尺、度盤的刻線深度;光柵的槽形結構;鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌;磁(光)盤、磁頭表面結構測量;硅片表面粗糙度及其上圖形結構測量等等。
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